近日，一項關(guān)于非晶態(tài)沸石咪唑酯骨架（aZIF）薄膜制備技術(shù)的突破性研究引發(fā)了科技界關(guān)注。由華東理工大學(xué)與美國約翰霍普金斯大學(xué)聯(lián)合組建的國際科研團(tuán)隊，成功開發(fā)出間歇性旋涂化學(xué)液相沉積技術(shù)，實現(xiàn)了aZIF薄膜沉積速率與厚度的精準(zhǔn)調(diào)控。該成果已通過電子束光刻和超越極紫外光刻的雙重驗證，相關(guān)論文發(fā)表于國際權(quán)威期刊《自然—化學(xué)工程》。

研究團(tuán)隊指出，aZIF薄膜因其獨(dú)特的物理化學(xué)性質(zhì)，近年來被視為新一代光刻膠的理想材料。然而，如何實現(xiàn)大面積、高精度的可控制備一直是制約其產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵難題。此次提出的創(chuàng)新方法，在前期超稀釋前驅(qū)體溶液技術(shù)的基礎(chǔ)上，通過優(yōu)化旋涂工藝參數(shù)，顯著提升了薄膜的均勻性和工藝穩(wěn)定性。實驗數(shù)據(jù)顯示，新方法制備的aZIF薄膜在光刻分辨率和缺陷控制方面均達(dá)到國際先進(jìn)水平。

在資本市場層面，半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域正迎來新一輪布局熱潮。據(jù)不完全統(tǒng)計，A股市場已有20家上市公司涉足該賽道，其中既包括直接從事光刻膠研發(fā)生產(chǎn)的半導(dǎo)體材料企業(yè)，也涵蓋通過子公司或參股方式布局的產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)聯(lián)公司。典型代表如上海新陽、南大光電、聚光科技等企業(yè)，均在不同技術(shù)路線實現(xiàn)突破，部分產(chǎn)品已進(jìn)入客戶驗證階段。

業(yè)內(nèi)專家分析，隨著先進(jìn)制程對光刻精度要求的持續(xù)提升，aZIF薄膜等新型光刻膠材料的市場需求將持續(xù)擴(kuò)大。此次國際合作研究的突破，不僅為光刻工藝升級提供了關(guān)鍵材料解決方案，也為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)追趕國際先進(jìn)水平創(chuàng)造了新的技術(shù)路徑。目前，相關(guān)企業(yè)正加速推進(jìn)產(chǎn)學(xué)研合作，力求在下一代光刻技術(shù)競爭中占據(jù)先機(jī)。