在高端實驗室檢測儀器國產化領域,安徽凌光紅外科技有限公司(以下簡稱“凌光紅外”)取得重大突破。近日,該公司正式發布商用激光誘導電阻變化設備——LaserSight系列,成功實現國產電性失效分析設備Thermal/EMMI/Obirch(TIVA)全系列自主化,填補了國內在該領域的空白。
OBIRCH(Optical Beam Induced Resistance Change)技術,中文名激光誘導電阻變化,是電性失效分析行業的三大標準定位手段之一,與熱發射(Thermal Emission)和光發射(Photon Emission)技術并列。該技術通過激光束誘導材料電阻變化,精準定位金屬互聯缺陷、金屬/半導體短路等問題,廣泛應用于IC、功率器件、光電器件等制造領域。自1997年日本企業發布首臺商業化OBIRCH設備以來,全球市場長期被日本H公司和美國F公司壟斷,兩家企業占據超80%的市場份額,設備技術壁壘高,國產化需求迫切。
凌光紅外此次推出的LaserSight系列設備,標志著國產激光誘導電阻定位技術從“跟跑”到“并跑”的跨越。據公司介紹,該系列設備性能對標進口旗艦機型,核心參數達到國際先進水平,可滿足金屬互聯缺陷、金屬/半導體短路等復雜場景的檢測需求。截至2025年12月,LaserSight系列已完成多臺銷售與交付,設備運行穩定,客戶反饋良好,成功打破國外廠商的技術壟斷。
與InGaAs和Thermo等傳統設備相比,LaserSight系列在金屬互聯缺陷檢測、半導體短路分析等場景中表現更優,尤其適用于高精度、高復雜度的電性失效分析任務。以LaserSight 100為例,其核心參數包括:激光波長1064nm、定位精度≤1μm、掃描速度≥10mm/s,可實現亞微米級缺陷的快速定位,為芯片制造、功率器件研發等領域提供了關鍵檢測工具。
凌光紅外成立于2021年12月,專注于高端實驗室檢測儀器的國產化研發,核心產品包括鎖相紅外熱像儀、微光顯微鏡、激光誘導定位系統等。公司以解決“卡脖子”技術問題為目標,通過自主研發與技術攻關,逐步構建起覆蓋電性失效分析、熱成像檢測、微光探測等領域的完整產品線。此次LaserSight系列的發布,進一步鞏固了其在高端檢測儀器市場的競爭力,為國內半導體、光電等產業的高質量發展提供了有力支撐。











