近日,復旦大學集成芯片與系統全國重點實驗室的周鵬-劉春森團隊宣布,在二維電子器件工程化領域取得重大突破。該團隊成功研發出全球首顆二維-硅基混合架構閃存芯片,相關成果以《全功能二維-硅基混合架構閃存芯片》為題,于北京時間10月8日晚間在《自然》期刊上發表。
當前,集成電路制造的主流工藝仍是CMOS技術,市場中的大部分芯片均采用該技術生產。然而,復旦團隊認為,若要加速新技術孵化,需將二維超快閃存器件與CMOS傳統產線深度融合。這種融合不僅能為CMOS技術帶來突破,還能縮短新一代顛覆性器件的應用周期。
團隊研發的“長纓(CY-01)”架構,正是這一理念的實踐。該架構將此前問世的“破曉(PoX)”二維超快閃存器件與成熟硅基CMOS工藝結合,實現了混合架構的工程化。基于CMOS電路控制的二維存儲核心,支持8-bit指令操作、32-bit高速并行操作與隨機尋址,良率高達94.3%,性能遠超現有Flash閃存技術。
“從第一個原型晶體管到第一款CPU,傳統路徑花了約24年。而我們通過融入現有CMOS產線,大幅壓縮了這一過程。”團隊成員劉春森表示,未來可進一步加速探索顛覆性應用。
實現這一突破并非易事。硅材料與二維材料的差異巨大:硅片厚度通常在幾百微米,而二維半導體材料僅1-3個原子厚,如同“蟬翼”般脆弱。直接將二維材料鋪在CMOS電路上,極易導致材料破裂,更無法實現電路性能。為此,團隊決定從二維材料本身的柔性入手,采用模塊化集成方案。
具體而言,團隊先將二維存儲電路與CMOS電路分離制造,再通過高密度單片互連技術(微米尺度通孔)實現完整芯片集成。這一創新工藝,使二維材料與CMOS襯底在原子尺度上緊密貼合,最終實現了超過94%的芯片良率。
團隊還提出了跨平臺系統設計方法論,涵蓋二維-CMOS電路協同設計、跨平臺接口設計等,并將這一系統集成框架命名為“長纓(CY-01)架構”。此前,團隊在2024年的《自然-電子學》上發表了第一項集成工作,在最理想的原生襯底上實現了二維良率的突破,為后續在復雜CMOS襯底上解決問題奠定了基礎。
目前,該芯片已成功流片,標志著從基礎研究到工程化應用的跨越。團隊下一步計劃建立實驗基地,與相關機構合作推進工程化項目,計劃用3-5年時間將項目集成到兆量級水平,并將產生的知識產權和IP授權給合作企業。





