工業和信息化部辦公廳與市場監管總局辦公廳聯合推進的2025年度智能制造系統解決方案“揭榜掛帥”項目名單近日完成公示,深圳智現未來科技有限公司憑借“功率半導體制造質量管控與優化解決方案”脫穎而出,成為電子信息領域深圳市唯一入選企業。這一成果不僅印證了該企業在半導體智能制造領域的標桿地位,更標志著其作為國家專精特新“小巨人”企業,正式承擔起重點領域技術攻關的使命。
該項目作為落實《“十四五”智能制造發展規劃》的關鍵舉措,同時為國家“十五五”規劃中關于重點領域核心技術突破的布局奠定基礎。項目通過構建“智能工廠-解決方案-標準體系”三位一體工作框架,重點強化智能制造裝備、工業軟件與系統的集成創新,推動人工智能技術與制造場景的深度融合,旨在形成可復制、自主可控的智能制造解決方案并完成應用驗證。其覆蓋集成電路、工業母機、高端儀器等戰略領域,直指我國制造業轉型升級的核心需求。
智現未來的入選方案聚焦第三代半導體制造的三大痛點:工藝材料復雜性、質量控制滯后性及專家經驗難以規模化應用。針對以碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)為代表的寬禁帶半導體,企業創新研發了基于“可預測空間”的雙層閉環智能控制系統。該系統通過數據驅動實現從“被動追溯”到“主動預測”、從“靜態配方”到“動態控制”的范式轉變,為行業提供了全流程智能化解決方案。
方案架構以“三大基礎+雙層閉環”為核心:首先構建覆蓋晶圓全生命周期的數字足跡,整合實時多模態缺陷識別與根因分析大模型,形成覆蓋“人機料法環測”全要素的“可預測數據空間”;其次通過動態派工與實時工藝參數自適應調優的雙層閉環機制,在缺陷發生前實現預測性干預。該系統可完成片對片(Wafer-to-Wafer)與批對批(Run-to-Run)的實時工藝優化,顯著提升產品良率,縮短分析周期,并沉淀專家知識庫。
據技術團隊介紹,該解決方案已實現關鍵技術自主可控,其多模態根因分析大模型通過融合物理模型與數據驅動方法,突破了傳統依賴專家經驗的局限。動態派工系統則基于強化學習算法,可根據設備狀態、工藝參數及訂單優先級自動生成最優生產路徑,使設備綜合效率(OEE)提升15%以上。目前,相關技術已在多家頭部半導體企業完成驗證,良率提升效果顯著。
此次入選“揭榜掛帥”項目,被視為智現未來技術攻堅的重要里程碑。企業負責人表示,將以此為契機加速核心技術迭代,推動解決方案在更多制造場景落地,助力我國半導體產業鏈突破“卡脖子”環節,提升全球供應鏈競爭力。據悉,該項目研發成果計劃于2026年前完成全鏈條驗證,并形成可推廣的行業標準。










