在長三角、珠三角以及福建、江西等地區，能源半導體產業集群正以前所未有的速度崛起，這一趨勢直接帶動了實驗室對超純水設備需求的急劇攀升。近期，一項針對江蘇、浙江、江西、福建四省實驗室及半導體企業的調研揭示，產水量在60-280L/H區間的超純水設備已成為市場上的主流選擇。然而，這些設備能否達到先進制程對水質的嚴苛標準，正成為業界普遍關注的議題。

在能源半導體的制造過程中，超純水扮演著舉足輕重的角色，它是清洗晶圓、蝕刻、光刻膠剝離等關鍵環節不可或缺的耗材。以7nm及以下的高精度制程為例，超純水需滿足一系列嚴苛指標，包括電阻率不低于18.2MΩ·cm、總有機碳（TOC）含量不超過0.5ppb，以及顆粒物（粒徑大于0.22μm）數量每升不超過50個，這些要求遠超傳統實驗室用水的標準。

“過去，60L/H產水量的設備足以滿足小規模研發的需求。但隨著第三代半導體材料，如碳化硅、氮化鎵的廣泛應用，清洗環節的用水量激增了3至5倍?！备＝嘲雽w材料實驗室的負責人透露。與此同時，江西某光伏企業也表示，其TOPCon電池生產線對超純水的需求量高達200L/H以上，且要求設備能夠24小時不間斷穩定供水。

為應對這一需求升級，國內超純水設備制造商正加快技術創新步伐。以浙江某企業推出的280L/H超純水系統為例，該系統采用了“雙級反滲透+EDI電去離子+終端拋光”的先進工藝，并配備了PLC智能控制系統，能夠實時監測水質并自動調節，確保產水電阻率穩定在18.25MΩ·cm以上，TOC含量不超過1ppb，足以滿足90%以上的能源半導體應用場景需求。

模塊化設計正成為超純水設備行業的新潮流。江蘇某廠商推出的60L/H設備，通過疊加超濾、紫外殺菌等模塊，可靈活擴展至120L/H，且占地面積不足1平方米，非常適合實驗室空間有限的環境。福建某采購平臺負責人指出：“智能化運維功能，如濾芯壽命預警、遠程故障診斷等，正成為企業選購超純水設備時的重要考量因素?！?/p>

從市場格局來看，2024年江浙閩贛四省實驗室超純水設備市場規模已突破12億元，其中國產設備占比超過65%。藍曉科技、瀚高中聯等企業憑借性價比優勢，在中低端市場占據了一席之地。然而，在高端領域，如18.2MΩ·cm以上電阻率、ppt級TOC控制的超純水設備，仍主要依賴栗田工業、奧加諾等進口品牌。

“國產設備在穩定性和耗材壽命方面與進口產品相比仍有一定差距，但這一差距正在逐步縮小?！苯髂嘲雽w研究院的專家表示。隨著《中國制造2025》對關鍵材料國產化的推動，預計到2026年，國產高端超純水設備的市場份額將提升至40%。

面對“雙碳”目標的挑戰，低能耗、零排放的超純水設備正成為行業的新寵。浙江某企業推出的太陽能驅動超純水系統，能耗較傳統設備降低了40%，已獲得多家光伏企業的青睞。針對鈣鈦礦電池、量子點顯示等新興領域，定制化開發超純水設備正成為廠商競爭的新賽道。

業內人士指出，當前60-280L/H產水量的設備能夠覆蓋能源半導體產業80%以上的需求。但隨著4nm、2nm等更先進制程的推進，未來對500L/H以上超大流量設備的需求可能會逐漸顯現。如何平衡產能、水質與成本，將成為設備制造商與終端用戶共同面臨的挑戰。