近日，天眼查APP數據平臺披露，中微公司（股票代碼：688012）成功斬獲一項發明專利授權，該專利名為“一種接地環及其調節方法及等離子體處理裝置”，其申請號為CN202011547788.X，授權日期為2025年9月9日。

據專利摘要介紹，此項發明創新性地提出了一種接地環及其調節方法，并應用于等離子體處理裝置中。該接地環巧妙地設計了連接體結構，通過靈活調整連接體的數量、更換不同寬度的連接體，或是調節連接體可分離連接端部與環體之間的間隙寬度，實現了對射頻分布的優化，從而有效保障了刻蝕速率的均勻性。

今年以來，中微公司在專利授權方面取得了顯著成績，新獲得專利授權數量達到118個，與去年同期相比增長了28.26%。這一成績的取得，離不開公司在研發領域的持續投入。根據中微公司2025年中報財務數據顯示，今年上半年，公司在研發方面的投入高達11.16億元，同比增長96.65%，展現了公司對技術創新的堅定決心和強大實力。

除了在專利領域的突出表現，中微半導體設備（上海）股份有限公司在商業運營方面也頗為活躍。天眼查大數據分析顯示，該公司共對外投資了29家企業，積極參與各類招投標項目，累計參與次數達67次。在知識產權保護方面，公司同樣不遺余力，擁有商標信息98條，專利信息1539條，著作權信息13條。公司還依法獲得了76個行政許可，為企業的穩健發展提供了有力保障。